　　　　　　　　　　　　　実習を主にした・初級者のための

　　　　　　　　　第48回　真空技術基礎講習会

　　主　催：　日本真空学会　・　（社）大阪府技術協会　・　日本真空工業会
　　　　　　　　　関西支部　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　関西支部

　　　　　　　　参　加　の　す　す　め

　真空技術の進歩とその応用産業の発展は近年めざましく、我々の日常生活に近い食品の真空包装、インスタントコーヒーなどはもとより、最先端のナノ技術を応用した半導体素子や究極の素粒子を研究する巨大な物理実験装置など、広範な分野での重要なキーテクノロジーになっています。また真空中では空気に邪魔されずに基礎的研究ができるため,新しいアイデアの正しさを確認して新製品、新プロセスを開発するのに役立っています。
　本講習会では、真空とはどういうものか、どうして作り出すか、そのために必要な機器、システムは……など基礎技術を修得していただくことを目的にしており、日程の半分を実習にあて、講義で得た知識をすぐ身体で理解できるように企画しております。また大阪府立産業技術総合研究所の真空関連各種機器も見学していただく予定にしております。
　平成１５年度から日本真空学会、日本真空工業会では真空技術者の資格認定を行っており、２級真空技術者資格認定試験の問題作成には本講習会のテキストも参考にされます。真空を取り扱われるメーカー、ユーザーを問わず将来真空に関与されると考えられる方々のご参加をお勧めいたします。

と　　　き　：　平成24年5月22日(火)～5月25日（金）4日間　
　　　　　　　　　　　　　　　　　9：30～17：50

と　こ　ろ　：　大阪府立産業技術総合研究所　
　　　　　　　　　　大阪府和泉市あゆみ野2丁目7番1号　　　［地図参照］

後　　　援　：　大阪府立産業技術総合研究所　

協　　　賛　：(社)応用物理学会、(社)高分子学会、(社)電気化学会
　　　　　　　(社)表面技術協会関西支部、日本表面科学会、(社)電気学会
　　　　　　　(社)低温工学協会関西支部　(社)日本機械学会関西支部、
　　　　　　　(社)計測自動制御学会、(社)電子情報通信学会、(社)日本ロボット学会
　　　　　　　(社)精密工学会、(社)日本非破壊検査協会,、（社）日本生体医工学会
　　　　　　　(社)奈良工業会、(社)化学工業会、(社)日本油化学会
　　　　　　　(社)日本電気計測工業会関西支部、(社)腐食防食協会
　　　　　　　(社)軽金属学会、(社)触媒学会、(社)日本セラミックス協会、
　　　　　　　(社)日本トライボロジー学会、(社)日本金属学会、(社)日本顕微鏡学会、
　　　　　　　日本材料科学会、日本質量分析学会、(社)日本物理学会、
　　　　　　　(社)日本分析化学会、日本放射光学会、システム制御情報学会
　　　　　　　ニューセラミックス懇話会、センシング技術応用研究会
　　　　　　　AMPIドライコーティング研究会

　　　　　　　参　　加　　要　　領

参　　加　　費：　主催団体会員　52,000円　　主催、協賛団体会員は本部・支部
（テキスト代　　　協賛団体会員　55,000円　　を問いません。
　実習費含）　　　一　　　　般　60,000円

定　　　　員：　　60名

申込締切　：　　平成24年5月7日（月）　定員に達し次第締め切ります　　

申込方法：　　申込書（クリック）に必要事項をご記入のうえ、ＦＡＸか郵送で
　　　　　　　　　　お申込ください。

申込先・送金先：　〒594－1157　
　　　　　　　　　　　大阪府和泉市あゆみ野2丁目7番1号
　　　　　　　　　　　　　　　大阪府立産業技術総合研究所内
　　　　　　　　　　　（社）大阪府技術協会　　　電話：0725－53－2329　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　ＦＡＸ：0725－53－2332
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　Eメール：yamanaka@dantai.tri-osaka.jp

参加費送金方法：　銀行振込

振　　込　　先　：　三菱東京UFJ銀行本店　普通預金口座　No.1263669
　　　　　　　　　　　名義：一般社団法人日本真空学会　
　　　　　　　　　　　　　　カナ表記：シャ）ニホンシンクウガッカイ
　　　　　　　　　　　　　　振込手数料をご負担下さい

　●実習講習の関係上、締切り前でも定員(60名)で締切りますので申込みはお早めに

　　　　　　　内　容　と　日　程

●座学

月日題　　　　　　　　目講　　　　　師

５月

22日

（火）
開会のあいさつ　　　（9：30）日本真空学会関西支部支部長
京都大学大学院工学研究科
　　　　教授　木村　健二氏

真空の基礎　　　　　（9：40～11：50）
　　真空とは何か、その特徴を知るとともに、真空技
　術の全般的な知識を習得するために、気体分子運
　動論を中心とした真空の基本的な事柄を解説する。大阪市立大学工学部
　　　准教授　福田　常男氏　

所内見学　　（12：40～13：40）
　大阪府立産業技術総合研究所の真空関連装置の見学

真空ポンプ　　（13：50～15：50）
　　大気圧から高真空を作るのに使用する各種ポンプの
　性能・特徴・及び使用法について解説する。㈱大阪真空機器製作所　堺開発部
　部長
　　　　　　濱口　宗久氏

真空系の構成　　　　（16：00～17：20）
　　真空系構成の基本的概念をはじめ、真空装置の
　構成上の検討事項を述べ、ポンプの構成と排気速
　度の関係並びに構成に要する部品について解説
　する。神港精機㈱真空装置技術部
　開発担当課長代理
　　　　　　小松　永治氏

５月

23日

（水） 真空計測　　　　　　　（9：30～10：50）
　　真空計の種類、動作原理、使用方法の基本と
　注意を述べるとともに、それぞれによって異なる
　測定方法を解説する。大阪電気通信大学
　エレクトロニクス基礎研究所
　教授　安江　常夫氏

リークテスト　　　　　　（11：00～12：20）
　　もれ探しの諸方法について述べるとともに、もれ
　探しの基礎知識としてのもれの単位、大きさ、動特
　性、レークの時定数などについて解説する。㈱島津製作所　半導体機器事業部
　　　　　　　井川　秋夫氏

真空応用技術　　　　（13：10～14：30）
　　真空技術は広範囲な産業分野に利用されており
、本講では身近な応用例から薄膜形成技術まで様々
　な応用例について解説する。大阪府立産業技術総合研究所
　制御・電子材料科
　　科長　　岡本　昭夫氏

５月

24日

（木） 真空用材料　　　　　（9：30～11：00）
　　真空の構成に必要な材料の諸性質を解説し、そ
　れらと真空との関連や、使用に際しての注意など
　について基礎的知識を述べる。
（財）高輝度光科学研究センター
　　　副主幹研究員
　　　　　　　為則　雄祐氏

５月

25日

（金）
真空機器の保守点検　（9：30～11：00）
　　低真空領域に使用する真空ポンプ等の保守点検
、使用上の注意、また機械ポンプで実際のトラブルや対
　策事例を交えて解説する。
アルバックテクノ㈱大阪ＣＳセンター
　所長　永井　秀和氏

演　　　　習　　　　　　（11：10～12：30）
　　本講習会の講義内容を元に作成した問題を解き、その解答、解説を行うことで、知識の定着を図る。大阪府立大学
　准教授
　　　　　　川田　博昭氏

パネルディスカション　　（13：30～15：30）
　　会期中に、座学・実習いずれについても疑問点
　を質問書で投函していただき、それらへの各講師
　からの回答を中心に行う。 (司会)
大阪市立大学工学部
　准教授　福田　常男氏

●実習　

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　（講師は一部変更することがあります）

月日題　　　　目指　　導　　講　　師

５月
23日
（水） 実習Ⅰ　　　14：40～17：50

1. 目で見る真空技術
2. 低真空の排気と基礎
　　　(a)　低真空排気特性の測定
　　　　(b)　低真空領域での圧力測定
元神港精機㈱：中曽根正美氏
阪大：長谷川繁彦氏、石川史太郎氏
京大（工）：後藤康仁氏、竹内光明氏
大阪府大（工）：川田博昭氏,河村裕一氏、永瀬　隆氏
　　　　　（理）：梅澤憲司氏、上浦良友氏
大阪電通大（工）：榎本博行氏
元大阪府産技研：吉竹正明氏、小川倉一氏
大阪府立： 野坂俊紀氏、岡本昭夫氏、日下忠興氏
産技総研　井上幸二氏、筧　芳治氏、田中恒久氏、　　　　　　村上修一氏、佐藤和郎氏、松永　崇氏、　　　　　　宇野真由美氏、金岡祐介氏、長谷川泰則氏
㈱大検：岡　英輝氏

キヤノンアネルバ㈱、㈱大阪真空機器製作所
㈱島津製作所、アルバッククライオ㈱

５月
24日
（木）
　 実習Ⅱ　　11：10～16：40

3. 高真空領域での排気速度の
　測定
4. リークテスト
5. 高真空領域での分圧測定
6. 簡単な真空応用技術

月日	題　　　　　　　　目	講　　　　　師
５月 22日（火）	開会のあいさつ　　　（9：30）	日本真空学会関西支部支部長京都大学大学院工学研究科　　　　教授　木村　健二氏
	真空の基礎　　　　　（9：40～11：50）　　真空とは何か、その特徴を知るとともに、真空技　術の全般的な知識を習得するために、気体分子運　動論を中心とした真空の基本的な事柄を解説する。	大阪市立大学工学部　　　准教授　福田　常男氏
	所内見学　　（12：40～13：40）　大阪府立産業技術総合研究所の真空関連装置の見学
	真空ポンプ　　（13：50～15：50）　　大気圧から高真空を作るのに使用する各種ポンプの　性能・特徴・及び使用法について解説する。	㈱大阪真空機器製作所　堺開発部　部長　　　　　　濱口　宗久氏
	真空系の構成　　　　（16：00～17：20）　　真空系構成の基本的概念をはじめ、真空装置の　構成上の検討事項を述べ、ポンプの構成と排気速　度の関係並びに構成に要する部品について解説　する。	神港精機㈱真空装置技術部　開発担当課長代理　　　　　　小松　永治氏
５月 23日（水）	真空計測　　　　　　　（9：30～10：50）　　真空計の種類、動作原理、使用方法の基本と　注意を述べるとともに、それぞれによって異なる　測定方法を解説する。	大阪電気通信大学　エレクトロニクス基礎研究所　教授　安江　常夫氏
	リークテスト　　　　　　（11：00～12：20）　　もれ探しの諸方法について述べるとともに、もれ　探しの基礎知識としてのもれの単位、大きさ、動特　性、レークの時定数などについて解説する。	㈱島津製作所　半導体機器事業部　　　　　　　井川　秋夫氏
	真空応用技術　　　　（13：10～14：30）　　真空技術は広範囲な産業分野に利用されており、本講では身近な応用例から薄膜形成技術まで様々　な応用例について解説する。	大阪府立産業技術総合研究所　制御・電子材料科　　科長　　岡本　昭夫氏
５月 24日（木）	真空用材料　　　　　（9：30～11：00）　　真空の構成に必要な材料の諸性質を解説し、そ　れらと真空との関連や、使用に際しての注意など　について基礎的知識を述べる。	（財）高輝度光科学研究センター　　　副主幹研究員　　　　　　　為則　雄祐氏
５月 25日（金）	真空機器の保守点検　（9：30～11：00）　　低真空領域に使用する真空ポンプ等の保守点検、使用上の注意、また機械ポンプで実際のトラブルや対　策事例を交えて解説する。	アルバックテクノ㈱大阪ＣＳセンター　所長　永井　秀和氏
	演　　　　習　　　　　　（11：10～12：30）　　本講習会の講義内容を元に作成した問題を解き、その解答、解説を行うことで、知識の定着を図る。	大阪府立大学　准教授　　　　　　川田　博昭氏
	パネルディスカション　　（13：30～15：30）　　会期中に、座学・実習いずれについても疑問点　を質問書で投函していただき、それらへの各講師　からの回答を中心に行う。	(司会) 大阪市立大学工学部　准教授　福田　常男氏

月日	題　　　　目	指　　導　　講　　師
５月 23日（水）	実習Ⅰ　　　14：40～17：50 1. 目で見る真空技術 2. 低真空の排気と基礎　　　(a)　低真空排気特性の測定　　　　(b)　低真空領域での圧力測定	元神港精機㈱：中曽根正美氏阪大：長谷川繁彦氏、石川史太郎氏京大（工）：後藤康仁氏、竹内光明氏大阪府大（工）：川田博昭氏,河村裕一氏、永瀬　隆氏　　　　　（理）：梅澤憲司氏、上浦良友氏大阪電通大（工）：榎本博行氏元大阪府産技研：吉竹正明氏、小川倉一氏大阪府立：野坂俊紀氏、岡本昭夫氏、日下忠興氏産技総研　井上幸二氏、筧　芳治氏、田中恒久氏、　　　　　　村上修一氏、佐藤和郎氏、松永　崇氏、　　　　　　宇野真由美氏、金岡祐介氏、長谷川泰則氏㈱大検：岡　英輝氏キヤノンアネルバ㈱、㈱大阪真空機器製作所㈱島津製作所、アルバッククライオ㈱
５月 24日（木）	実習Ⅱ　　11：10～16：40 3. 高真空領域での排気速度の　測定 4. リークテスト 5. 高真空領域での分圧測定 6. 簡単な真空応用技術